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臭氧发生器通常由多组放电发生单元组成，有管式和板式两类。管式有立管式和卧管式两种；板式也有奥托板式和劳泽板式两种。目前生产上使用较为广泛的是管式。用无声放电法制备臭氧的理论电耗为0.95kWh/kgO3，而实际电耗要大得多。单位电耗的臭氧产率，实际值仅为理论值的10%左右，其余能量均变为热能，使电极温度升高。